●用于對真空規(guī)的校準(zhǔn)
●低真空規(guī)管校準(zhǔn)利用靜態(tài)穩(wěn)壓比對法
●高真空規(guī)管校準(zhǔn)利用動態(tài)比對法
●低真空校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管采用MKS 690A高精度薄膜規(guī)，高真空校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管采用MKS SRG-3轉(zhuǎn)子規(guī)
●低真空校準(zhǔn)室本底真空度優(yōu)于1x 10-5Pa
●高真空校準(zhǔn)室本底真空度優(yōu)于5x 10-7 Pa
●烘烤前2小時內(nèi)高真空腔室真空度達到10-5Pa,檢漏儀檢測漏率≤10-12 mbar .L . s-1
●烘烤24小時后，極限真空度可達5x 10-8Pa
●可擴展漏孔校準(zhǔn)
●符合計量標(biāo)準(zhǔn)JJG729-1991 《二等 標(biāo)準(zhǔn)動態(tài)相對法真空裝置檢定規(guī)程》
●符合計量校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1062-1999《電離真空計》
●符合計量校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1050-1996《工作用熱傳導(dǎo)真空計校準(zhǔn)規(guī)范》
●符合計量標(biāo)準(zhǔn)JJG 932-1998《壓阻真空計檢定規(guī)程》
●符合計量標(biāo)準(zhǔn)JJG 462-2004《二等標(biāo)準(zhǔn)電離真空計》
真空校準(zhǔn)系統(tǒng)（Vacuum Gauge Calibration System）
